1、招标条件
项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购ICPCVD（电感耦合等离子体化学气相沉积）设备1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2、招标内容
招标项目名称:甬江实验室采购ICPCVD(电感耦合等离子体化学气相沉积)设备项目（重招）
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	ICPCVD（电感耦合等离子体化学气相沉积）设备	1套	ICPCVD（电感耦合等离子体化学气相沉积）是利用ICP等离子源，增加等离子浓度，以实现在较低的温度沉积高致密性介质薄膜，如SiO2, SiNx等，用于微纳器件的钝化、介电、填充等功能。主要用于低温沉积高致密性介质薄膜材料如SiO2，SiNx等用于微纳器件，微纳光学器件，功率器件的钝化层、介电层等。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2024-04-28
招标文件领购结束:2024-05-08
招标文件售价:￥500/$80
5、投标文件的递交
投标截止（开标）:2024-05-22 09:00

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联系人：刘欣
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