甬江实验室采购涂胶显影机项目国际(1)招标公告
日期:2024-03-15
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1. 招标条件
项目概况:甬江实验室因发展需要,需采购涂胶显影机1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2. 招标内容:
招标项目名称:甬江实验室采购涂胶显影机项目项目实施地点:中国浙江
招标产品列表(主要设备):
序号 |
货物名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
1 |
涂胶显影机 |
1套 |
涂胶显影机是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、烘烤及显影设备,其与KrF光刻机联机搭配使用,支持分辨率≤110 nm且套刻精度≤15 nm的光刻工艺,同时,涂胶显影机也可离线独立作业,支持i-线(365 nm)光刻工艺。工艺过程包括晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等。 |
/ |
3. 投标人资格要求
3.1特定资格条件:
3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商,如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书;
3.2本项目不接受联合体投标。
3.3未领购招标文件不可以参加投标。
4. 招标文件的获取
招标文件领购开始:20
3月1
,
:8:30-11:30 ;
:13:30-17:00。
招标文件领购结束:20
3月2
17:00(北京
)
5.1投标截止(开标
):20
4月
9时30分(北京
)
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联系人:刘欣
电话:010-68809590
手机:13522553206(欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱:kefu@bidnews.cn
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