项目名称：北京大学重庆碳基集成电路研究院低温等离子体去胶机采购项目
预算金额：360.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：360.000000 万元（人民币）
采购需求：

包号	货物名称	数量	简要技术规格	是否允许采购进口产品	采购 预算
1	低温等离子体去胶机	1台设备	适用200mm notch的晶圆工艺； 具备O2、N2、CF4、3%H2/Ar气体，可实现8英吋晶圆的100ºC以下光刻胶去除工艺； 去胶速率：在同一气体管路配置条件下，稳定实现最低900A/min及以上不同速率的能力,@100ºC； 片内去胶速率均一性（49pt contour map, EE5mm) ≤10%； 片间去胶速率均一性（49pt contour map, EE5mm) ≤10%； 6）0.20um以上颗粒，测试增加值≤10颗，0.20um以下颗粒，测试增加值≤40颗。	否	360 万元

注：
1)投标人须对整个包中全部内容进行投标，不得转包、分包。评标、授标以整个包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件（即，本招标文件第六章）。
合同履行期限：合同签订后4个月内交货。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：1） 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2） 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可；3） 投标人按照招标公告要求购买了招标文件；4） 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。5） 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；6） 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；8）本项目不接受联合体投标。
三、获取招标文件
：2003月0 至 2003月13日，每天9:00至12:00，12:00至17:00。（北京，法定节假日除外）

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联系人：刘欣
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