东南大学微纳平台步进式光刻机采购项目(第二次)招标公告

日期：2024-02-02 收藏项目

一、项目基本情况
项目名称：东南大学微纳平台步进式光刻机采购项目
预算金额：3500.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：3450.000000 万元（人民币）
采购需求：
微纳平台采购步进式光刻机系统一套，主要技术要求如下：
1.样品台支持最大8寸晶圆，并向下兼容，可容纳的基片最大厚度：650um~750um。
2.机台分辨率200nm，套刻精度LSA 45nm、FIA 40nm。曝光波长248nm，最大曝光范围25.0mm ×33.0mm。
3.设备包含照明系统，自动对准系统（晶圆、掩模及步进对准），版库管理系统，晶圆自动传输系统，晶圆承载台及调平系统，自动光量控制及自动调焦调平，内部温度、压力控制及气体过滤系统，减震系统，自动软件。
4.设备包含配套的自动匀胶显影系统，包含匀胶单元两个，显影单元两个，以及HMDS热板、高温热板、低温热板、冷板等。
项目编号：0664-2360SUMEC751D-2（SEU-ZB-230697）
预算金额：人民币3500万元整
最高限价：人民币3450万元整（不含外贸代理费）
本项目接受进口产品。
本项目所属行业：工业。

合同履行期限：境外产品：开具信用证后12个月内设备安装调试合格。境内产品：自合同签订之日起180天内到货并安装调试合格。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策，将落实相关政策。

3.本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站、“中国政府采购网"列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。
三、获取招标文件