复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购公告

日期：2024-01-10 收藏项目

一、项目基本情况
项目名称：复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所SiC刻蚀等仪器设备采购项目
预算金额（元）：33943500.00
最高限价（元）：/
采购需求：
标项一
标项名称：SiC刻蚀
数量：1
预算金额（元）：5000000
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：为深度对接国家战略，加快重大科技成果产业化和支撑战略性新兴产业发展步伐，使研究院建设成为全国一流、国际领先的宽禁带半导体材料和器件研究中心与产业发展高地，拟采购一台SiC刻蚀。
备注：详细采购需求详见招标文件第五章。
标项二
标项名称：干法铝刻蚀
数量：1
预算金额（元）：5200000
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：为深度对接国家战略，加快重大科技成果产业化和支撑战略性新兴产业发展步伐，使研究院建设成为全国一流、国际领先的宽禁带半导体材料和器件研究中心与产业发展高地，拟采购一台干法铝刻蚀。
备注：详细采购需求详见招标文件第五章。
标项三
标项名称：聚酰亚胺烘烤
数量：1
预算金额（元）：488000
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：为深度对接国家战略，加快重大科技成果产业化和支撑战略性新兴产业发展步伐，使研究院建设成为全国一流、国际领先的宽禁带半导体材料和器件研究中心与产业发展高地，拟采购一台聚酰亚胺烘烤。
备注：详细采购需求详见招标文件第五章。
标项四
标项名称：揭膜机等仪器设备
数量：1
预算金额（元）：340000
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：为深度对接国家战略，加快重大科技成果产业化和支撑战略性新兴产业发展步伐，使研究院建设成为全国一流、国际领先的宽禁带半导体材料和器件研究中心与产业发展高地，拟采购一批揭膜机等仪器设备。
备注：详细采购需求详见招标文件第五章。
标项五
标项名称：尾气处理Scrubber等仪器设备
数量：1
预算金额（元）：1330000
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：为深度对接国家战略，加快重大科技成果产业化和支撑战略性新兴产业发展步伐，使研究院建设成为全国一流、国际领先的宽禁带半导体材料和器件研究中心与产业发展高地，拟采购一批尾气处理Scrubber等仪器设备。
备注：详细采购需求详见招标文件第五章。
标项六
标项名称：电阻率测试仪
数量：1
预算金额（元）：660000
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：为深度对接国家战略，加快重大科技成果产业化和支撑战略性新兴产业发展步伐，使研究院建设成为全国一流、国际领先的宽禁带半导体材料和器件研究中心与产业发展高地，拟采购一台电阻率测试仪。
备注：详细采购需求详见招标文件第五章。
标项七
标项名称：应力检测设备
数量：1
预算金额（元）：750000
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：为深度对接国家战略，加快重大科技成果产业化和支撑战略性新兴产业发展步伐，使研究院建设成为全国一流、国际领先的宽禁带半导体材料和器件研究中心与产业发展高地，拟采购一台应力检测设备。
备注：详细采购需求详见招标文件第五章。
标项八
标项名称：介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备
数量：1
预算金额（元）：17175500
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：为深度对接国家战略，加快重大科技成果产业化和支撑战略性新兴产业发展步伐，使研究院建设成为全国一流、国际领先的宽禁带半导体材料和器件研究中心与产业发展高地，拟采购一批介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备。
备注：详细采购需求详见招标文件第五章。
标项九
标项名称：金相显微镜
数量：8
预算金额（元）：3000000
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：为深度对接国家战略，加快重大科技成果产业化和支撑战略性新兴产业发展步伐，使研究院建设成为全国一流、国际领先的宽禁带半导体材料和器件研究中心与产业发展高地，拟采购八台金相显微镜。
备注：详细采购需求详见招标文件第五章。
合同履约期限：标项1、2、3、4、5、6、7、8、9合同签订后9个月内完成交货并安装调试验收合格。
本项目（否）接受联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；未被“信用中国”、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无。
3.本项目的特定资格要求：无。
三、获取招标文件