1、招标条件
项目概况:等离子体气相沉积设备(旧机） 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-234011020148/03
招标项目名称:等离子体气相沉积设备(旧机）
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	等离子体气相沉积设备(旧机）	1台	(1)PECVD—等离子体化学气相沉积的主要原理是借助射频使化学反应气体在工艺腔内解离，在局部形成等离子体。(2)在SiNx3000 ？ /a-Si 2000 ？ /n+a-Si 500？膜层厚度条件下：产能: ≥20片/小时 (PECVD-三层膜) 或同目前量产腔体(3)在SiNx5000 ？膜层厚度条件下：产能: ≥ 25片/小时 (PECVD-一层膜) 或同目前量产腔体	0730-234011020148/03

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2005年1月至今必须有同类型设备（新机或旧机）5 台以上销售记录，用户反映效果良好（投标人需要提供合同或订单类业绩证明资料） 。（2）一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2023-11-28
招标文件领购结束:2023-12-05
招标文件售价:￥3500/$600
5、投标文件的递交
投标截止（开标）:2023-12-19 09:30

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联系人：刘欣
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