1、招标条件
项目概况:巨量转移关键尺寸测量仪 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:巨量转移关键尺寸测量仪
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	巨量转移关键尺寸测量仪	1台	(1)设备由腔体、测量平台、高分辨率CMOS显微镜、图像处理器、干涉仪和线性马达等构成,,用于测量PR线宽、曝光套刻精度和长寸(长寸测量需要长宽线宽测量仪)，并能够自动把曝光套刻精度和长寸的测量数据反馈给曝光机。(2)基板尺寸：（650±0.5）mm×（750±0.5）mm。(3)在设备运行全过程中，玻璃基板上静电电压都需≤±100V

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2018年1月至今必须有同类型设备5 台以上销售记录，用户反映效果良好（投标人需要提供合同或订单类业绩证明资料） 。（2）一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2023-11-21
招标文件领购结束:2023-11-28

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