1、招标条件
项目概况:宜兴中车时代半导体有限公司槽式清洗设备及陪片清洗设备项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0623-2340J1110173/02
招标项目名称:宜兴中车时代半导体有限公司槽式清洗设备及陪片清洗设备项目
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
包1	PRE Clean	3台	用于8英寸硅晶圆的湿法清洗工艺。	★包中设备不得拆分投标。
	Post Clean	4台	用于8英寸硅晶圆的湿法清洗工艺。	★包中设备不得拆分投标。
	EKC Clean	2台	用于8英寸硅晶圆的湿法清洗工艺。	★包中设备不得拆分投标。
	OX ETCH1，OX ETCH2和SN ETCH	3台	用于8英寸硅晶圆的湿法清洗工艺。	★包中设备不得拆分投标。
包2	陪片清洗设备	3台	用于清洗8英寸硅晶圆表面附着的多晶硅/绝缘多晶硅/氮化硅和金属钨	★包中设备不得拆分投标。

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩:资格标准：
包1：槽式清洗设备:
1、投标人具有所投设备的制造或销售资格，制造商近三年（以投标截止前36个月为有效，以合同或订单签订落款为准）具备8寸晶圆厂已交付的槽式清洗设备业绩合计不低于60台,其中氧化层和氮化硅晶圆刻蚀工艺类设备不低于10台。（投标文件中必须提供合同（或订单）复印件以及经合同甲方签字确认的收货单。如合同（或订单）中无法体现项目信息的，须同时另行提供相关证明材料）
2、投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》。
包2：陪片清洗设备:
1、投标人具有所投设备的制造或销售资格，制造商近三年（以投标截止前36个月为有效，以合同或订单签订的落款为准）陪片清洗设备业绩合计不低于5台。（投标文件中必须提供合同或订单复印件）
2、投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2023-07-14
招标文件领购结束:2023-07-21
招标文件售价:￥500/$80

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