速退火系统
预算金额：
1000.********万元(人民币)
采购品目：
A********其他专用仪器仪表
采购需求概况：
1.兼容碳化硅衬底和硅衬底，晶片尺寸8″、6″、4″及不规则小片；晶圆厚度最薄可以到80um；提供紫外、绿光两种选择，机台可以配置一种波长激光，也可以同时配置两种波长；
2.激光输出稳定性≤1%；
3.具备小型化密封腔室，氧含量最低可控≤10PPM；
比电阻接触率≤10-5Ωcm²；Rs均匀性3σ≤2%
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