一、技术标准
1、项目名称：防护导电材料
2、项目目的：验证接触式曝光显影工艺在超厚锗衬底上加工防护图案的可行性，为后续小批量加工方案与环境适应性验证提供参考。
3、技术要求：
采用接触式曝光显影工艺，在14mm超大厚度、69mm×49mm尺寸异形（见附件图）锗块上加工精细导电图案，导电材料为金，具体参数为：
（1）有效区域不小于59mm×********；
（2）最小线宽约********;
（3）金导电材料厚度约200nm;
（4）异形锗块见附件，锗块由甲方提供。
4、实施人员要求
无。
5、生产及安装调试等要求
供应商应向需求方提交防护导电材料按合同规定的各项参数，并由双方共同按合同规定要求进行验收。
6、供货、安装周期及交货地点要求
（1）合同生效后，供应商在30天内发货。
（2）供应商提供防护导电材料的各项技术性能指标必须达到合同规定的要求。
（3）交货地点：甲方指定地点。
二、服务要求
1、售后质保培训等要求
（1）质保期为验收合格并交付使用后1年。
（2）提供在甲方指定地点现场故障排查及故障消除服务，服务响应48小时内。
（3）、供应商应按照需求方的要求，提供防护导电材料的技术资料等。
2、保密要求
甲、乙双方在采购和履行合同过程中所获悉的对方属于保密的内容，甲乙双方均有保密义务。

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联系人：刘欣
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